高精型氣體層流質量流量計

——計量級精度的高精型流量計

S200高精型氣體層流質量流量計向對精度有更高需求的客戶提供計量級的精度等級（±0.5%讀數精度），通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了更高性能。同時，內置4種標況溫度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供選擇，并實時顯示溫度、壓力、標況流量、工況流量、累計流量五大參數。

量程范圍：0.5sccm~5000slpm

特征：

l 原理：層流壓差式流量計

l 觸屏操作：自由實現更改氣體介質、調整混合氣體比例和修改部分參數信息

l 高精度：±0.5%讀數精度

l 高重復性：±0.1%F.S.

l 寬溫度、壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示5種過程變量

l 內置49種氣體和混氣測量

使用條件：

l 精度：±0.5%RD（20%～100%量程范圍）或 ±0.1％F.S.（≤20%量程范圍）（RD-讀數 F.S.-滿量程）

l 重復性：±0.1%F.S.

l 溫度漂移：Zero：≤±0.01%F.S./℃；Span：≤±0.01%F.S./℃（基準溫度20℃）

l 壓力漂移：Zero：≤±0.02%F.S./100Kpa；Span：≤±0.02%F.S./100Kpa（基準100KPa(絕壓))

l 工作流量范圍：1%~120%F.S.

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 供電電壓：24V ±20%

l 消耗電流：＜150mA   (供電電壓為24v時)

l 安裝方式：任意角度

l 進出口：內螺紋（管螺紋）

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

應用場景

l 流量校準：流量校準臺的標準表、流量校準臺的比對、量值傳遞、實驗室設備的流量校準等

l 計量：稀有氣體局部或整體系統流量使用量的監(jiān)控、貿易結算等

S200高精型氣體層流質量流量計適用于對流量計精度有更高需求的客戶，具有高精度和高重復性。