多組分混合標(biāo)準(zhǔn)氣體是環(huán)保行業(yè)實(shí)現(xiàn)監(jiān)測設(shè)備多點(diǎn)標(biāo)定的重要工具，以質(zhì)量流量控制器為配氣部件的動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀(或動(dòng)態(tài)氣體稀釋裝置等)，利用高濃度標(biāo)氣和零氣，通過對(duì)各氣路氣體流量的精確控制，實(shí)現(xiàn)多濃度點(diǎn)氣體的連續(xù)、穩(wěn)定配制，并以低成本、智能檢測、自動(dòng)配氣、不受使用環(huán)境溫度和壓力影響等優(yōu)勢被廣泛應(yīng)用。

客戶應(yīng)用背景：作為動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀的研發(fā)生產(chǎn)商，對(duì)流量控制器的現(xiàn)場表現(xiàn)有多方面的實(shí)際需求。氣體流量控制器的重復(fù)性和可靠性、微小的漏氣、不同溫度壓力下的精度保持能力等問題，最終會(huì)對(duì)客戶造成不同程度的困擾。提高動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀的精度和穩(wěn)定性，減少最終用戶的長期使用和維護(hù)成本，成為發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步的方向。

關(guān)鍵關(guān)注點(diǎn)：

動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀簡化原理框圖（自制圖片，不代表真實(shí)原理結(jié)構(gòu)）

? 高重復(fù)性的配氣

? 對(duì)溫度和壓力漂移，環(huán)境適應(yīng)性好

? 對(duì)前端壓力波動(dòng)不敏感

? 寬量程精度保持能力（例如20%~100%或10%~100%量程范圍內(nèi)達(dá)到±1%S.P.）

? 高可靠，長期精度不漂移，控制穩(wěn)定性好

? 要求對(duì)低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力

解決方案：

為提高動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀連續(xù)穩(wěn)定的輸出濃度，易度提供了MCF100系列層流壓差式質(zhì)量流量控制器作為標(biāo)準(zhǔn)配氣元件，選用閥門后置型產(chǎn)品，可監(jiān)測前端氣體壓力，并選取了幾種不同的量程，典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質(zhì)量流量控制器，精度為±1.0% S.P.。

? 內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥和流量傳感器具有高分辨率和穩(wěn)定性

? 內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器，具有-20~50℃，0~1MPa的寬環(huán)境適應(yīng)性

? 層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度，對(duì)前端壓力不敏感

? 層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優(yōu)勢

? 層流壓差式原理，高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石

? 自研的壓力和壓差傳感器對(duì)低濃度腐蝕性氣體不敏感，有較好的抗污染能力

易度流量控制器采用層流壓差式原理，在氣體流量控制的精度和重復(fù)性上有明顯的優(yōu)勢，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)快速控制。比例調(diào)節(jié)閥在設(shè)計(jì)中充分考慮密封性和內(nèi)漏問題，將客戶的關(guān)鍵關(guān)注點(diǎn)解決，幫助客戶將動(dòng)態(tài)配氣儀提升到更高品質(zhì)和更優(yōu)性能。