易度智能高精度質量流量控制器半導體MFC向對精度有更高需求的客戶提供計量級的精度（±0.5%讀數精度），通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了更高性能。同時，內置4種標況溫度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供選擇，并實時顯示溫度、壓力、標況流量、工況流量、累計流量五大參數。

易度智能高精度質量流量控制器半導體MFC特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點擊操作、讀取流量，或者提供上位機軟件操作。

l 核心優勢：高精度、高重復性、快速響應

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示5種過程變量

l 內置70+種氣體，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數

l 可測量混合氣體，設置混合氣體編輯功能

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

產品規格：

l 產品型號：

S200-帶觸摸屏高精度流量計，可觸屏操作讀取數據，方便工況現場使用，無需電腦，像手機一樣方便。

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

性能參數：

l 精度：±0.5%RD

l 重復精度：±0.1%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度20℃）

l 零點漂移：±0.2%F.S.

l 工作范圍：1%~120%F.S.

l 響應時間：100ms

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 壓損：4kPa~12kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜150mA （＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 流量標準臺的標準表、流量校準臺的比對、量值傳遞、實驗室設備的流量校準等

l 稀有氣體局部或整體系統流量使用量的監控、貿易結算等

l半導體行業等

特點為帶有觸摸屏可直接讀取參數，滿足高精度工況環境下流量測量需求，適用于流量校準、計量等工況場景。