易度智能氣體質(zhì)量流量控制器【簡(jiǎn)稱MFC】基于內(nèi)部補(bǔ)償型*層流壓差技術(shù)，內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，通過(guò)精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動(dòng)控制氣體流量，從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測(cè)量和控制。層流質(zhì)量流量控制器可作為主要設(shè)備在高校科研院所和廣泛的工業(yè)過(guò)程自動(dòng)化控制中使用。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點(diǎn)擊輸入設(shè)定流量，或者提供上位機(jī)軟件設(shè)定流量。

l 核心優(yōu)勢(shì)：高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示4種過(guò)程變量

l 內(nèi)置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無(wú)需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體

l 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間，開機(jī)即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計(jì)模式使用

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號(hào)：

SC系列-帶觸摸屏系列控制器，可觸屏操作讀取數(shù)據(jù)，方便工況現(xiàn)場(chǎng)使用，無(wú)需電腦，像手機(jī)一樣方便。

MC系列：無(wú)屏幕系列控制器，可通過(guò)上位機(jī)軟件設(shè)定流量、讀取數(shù)據(jù)，適用配套用戶，軟件可同時(shí)測(cè)控16臺(tái)流量計(jì)或控制器。

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數(shù)：

l 精度：±1.0%S.P.  , ± 0.5%S.P.

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應(yīng)時(shí)間：≤700ms.

l 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無(wú)冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~700kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號(hào)：RS485，Profibus

l 模擬信號(hào)：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場(chǎng)景

l 配套流量校準(zhǔn)平臺(tái)的流量控制設(shè)備

l 實(shí)驗(yàn)中的氣體流量控制

l 機(jī)械動(dòng)力測(cè)試系統(tǒng)中的氣體流量控制

l 材料制備實(shí)驗(yàn)中的中的氣體流量控制

l 真空實(shí)驗(yàn)艙及真空試驗(yàn)系統(tǒng)中的氣體流量控制

l 生物反應(yīng)器實(shí)驗(yàn)裝置中的氣體流量控制

l 高精度實(shí)驗(yàn)儀器的研發(fā)和試制

l 分析測(cè)試儀器

易度智能層流壓差式氣體質(zhì)量流量控制器通用于工業(yè)配套、高校研究院所實(shí)驗(yàn)室等氣體流量測(cè)控領(lǐng)域。